日本TORAY东丽半导体制造MS-500氧气分析仪的技术参数

氧气分析仪半导体、电子元件用氧气分析仪

MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860

型号：MS-500

可同时测量多达 8 个点

显示浓度范围很广，从ppm级到100

适合安装在半导体制造设备、真空设备等中。

直接插入式传感器（NW 16/25/40 法兰，用于真空）

高耐久性传感器采用特殊涂层，以提高其耐久性。

MS-500 规格

测量原理

氧化锆浓缩池类型

类型

分体式（转换器：壁挂式；传感器：直接插入式）

显示系统

4位数字显示屏（浓度显示屏）

测量范围

0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol O₂ 10-20　～10-0 atm自动 量程

重复性

满量程的±0.5%以内；范围为0-1%或以上。
满量程的±1%或±0.1 ppm以内，以较大者为准；范围小于0-1%
。浓度在0-1 ppm（大气压）范围内不在保修范围内。

测量点数量

1～8

样品气体需求

压力

10 -3至 200KPa（压力）

流速

0.5 至 5,000 毫升/分钟 或 0 毫升/分钟（自然分散状态下测量）

湿度

露点低于环境温度

温度

0 至 100°C

其他的

不得含有腐蚀性气体（氟气、氯气、硫磺气等）、含有机硅的气体、易燃物质（包括气体）、油或水分。

参考气体

气氛

录音机输出

仅传输输出

传输输出

RS-232C

报警输出

没有任何

热身时间

6分钟或更短

方面

MS-500（控制器）

92 毫米（宽）×44 毫米（高）×120 毫米（深）（不含突出部分）

MS-510（转换器）

100 毫米（宽）×40 毫米（高）×88 毫米（深）（不含突出部分）

传感器单元

SD16NW

总长度100mm（传感器直径11×39mm，机身直径40×51mm）

SD25NW

总长度100mm（传感器直径11×42mm，机身直径40×48mm）

SD40NW

总长度100mm（传感器直径11×41mm，机身直径40×49mm）

重量

MS-500（控制器）

约0.6公斤

MS-510（转换器）

约0.5公斤

传感器单元

SD16NW

约0.2公斤

SD25NW

约0.2公斤

SD40NW

约0.35公斤

外部连接

任何真空法兰（NW16、25 或 40）

力量

24VDC±10%